1.外觀檢查儀器是否受過強烈震動、碰撞、腐蝕等損害，主要查看外殼元受潮銹蝕、受碰損壞之痕跡，銘牌清晰；檢查電纜及接頭的接觸處是否清潔、有無松動現象，并用三用表檢查其接觸是否良好；清點儀器附件及技術文件是否全。
2.打開露點測量室，檢查露點室內無微粒、油霧等污染物污染，鏡面無劃痕，光學器件無松動。檢查鏡面、發光二極管及光電傳感器外罩，如發現有損傷應予以換。清洗鏡面及光電器件外罩。清洗時使用棉簽沾清洗劑（一般由儀器自配，無自配清洗劑時，可使用無水乙醇）輕輕擦洗，并及時用干棉簽將殘留的清洗劑吸干。注意不要在鏡面上和光學器件上留下棉花纖維。
3.用棉簽沾無水乙醇清洗接頭各部件，一般利用大流量吹采樣氣路，使氣路清潔。接好氣路后用憋壓的方法檢查氣路的氣密性。
4.接通電源，掀動各按鈕，檢查各試驗設備是否運行正常。
5.準確度檢定內容
（1）根據被檢露點儀的測濕范圍確定檢定露點溫度點，一般順序是從低濕點開始向高濕點，每10℃為間隔，到+20℃為止。使用重量法濕度計檢定時，檢定范圍從-20℃～+20℃。
（2）調節濕度發生器到被檢濕度設定點，當濕度發生器（與標準露點儀）穩定后，才可開始露點儀檢定工作，一般不低于15min。此時標準器（標準動態濕度發生器或標準露點儀）、被檢露點儀的顯示值相對穩定，波動度小于標準器的合成不確定度。
（3）采用定時記錄的方法，記錄標準器與被檢露點儀的測試值。一般每分鐘記錄一組數據，累計記錄不少于11組數據。
（4）檢定結束后，一般先關閉露點儀（包括標準露點儀）的電源，將濕度發生器調至低濕度，用大流量干氣吹整個氣路系統3～5min之后再關閉濕度發生器，關閉露點儀冷卻水。取下露點儀后，及時將露點室進出口密封，防止灰塵進入。
對于露點儀的檢定可以選用羅卓尼克的溫濕度發生器和手持表，經濟方便。
